流量准确度 | ±1%F.S |
流量线性度 | ±0.5%F.S |
流量重复精度 | ±0.2%F.S |
稀释气体流量范围 | 0~20SLM;0~10SCCM 可根据需求选择 |
稀释比 | 200:1、100:1 (订制可选) |
最大配比 | 2000:1、4000:1(订制可选) |
输入压力 | 100Kpa~500Kpa |
显示方式 | 800×480液晶7寸触摸屏 |
环境温度 | 5℃~+40℃ |
环境湿度 | <85%RH(无冷凝) |
设备耐压 | <1Mpa |
工作压差范围 | 0.05Mpa~0.3Mpa |
工作电源 | 220VAC, 50±0.5Hz |
稀释气体流量 | □0~10SLM; □0~5SLM; □0~5SLM; □0~1SLM; □0~500SCCM |
单只量程比 | 100:1/200:1 |
最大配比 | 4000:1 (根据配置) |
响应时间 | ≤50ms (配气) |
输入压力 | (0.2-11)MPa |
最大功率 | 300W (加热至350℃时),其中电磁阀最大功率:24W |
仪器外形尺寸 | 480mm×285mm×452mm |
仪器重量 | 25KG |